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干泵
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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 DIS-252 通過固定渦旋壁(固定渦輪)與對面渦旋壁(從動(dòng)渦輪)的偏心運(yùn)動(dòng),進(jìn)行排氣的真空泵
更新日期:
2024-08-16
型號(hào):
DIS-252
廠商性質(zhì):
經(jīng)銷商
瀏覽量:
252
LR60 LR90 LR180ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T 通過低溫區(qū)域的泵體均熱化,在PVD工藝之外,尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵
更新日期:
2024-08-16
型號(hào):
LR60 LR90 LR180
廠商性質(zhì):
經(jīng)銷商
瀏覽量:
333
HR60 HR90 HR300ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600 HR1200 通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵
更新日期:
2024-08-16
型號(hào):
HR60 HR90 HR300
廠商性質(zhì):
經(jīng)銷商
瀏覽量:
297
UR421-T UR600ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵
ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 UR421-T UR600 用途 CVD裝置 蝕刻裝置 灰化裝置 ALD、ALH 等
更新日期:
2024-08-16
型號(hào):
UR421-T UR600
廠商性質(zhì):
經(jīng)銷商
瀏覽量:
226
LS120A LS300A LS600AULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵
ULVAC愛發(fā)科 螺桿型干式真空泵 LS120A LS300A LS600A LS1200A LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能,我們通過的螺桿形狀和節(jié)電技術(shù)的融合,使該系列產(chǎn)品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵
更新日期:
2024-08-16
型號(hào):
LS120A LS300A LS600A
廠商性質(zhì):
經(jīng)銷商
瀏覽量:
327
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